羅茨真空機組指無特殊要求的真空工藝。這類羅茨真空機組的環境要求是:任何羅茨真空機組都要求無累積污染源,無灰塵,無鐵屑,表面無鐵銹。羅茨真空機組真空室表面應光滑,無軟結構、氣孔、內部焊縫和其他影響真空的缺陷。
在羅茨水環真空機組中,真空室中的運動部件不應使用機油作為潤滑劑,應使用擴散泵油和低飽和蒸汽壓的硅油作為潤滑劑,法蘭和觀察窗的密封部件應涂有高真空潤滑脂。羅茨水環真空機組一般應在溫度15 ~ 30℃、相對濕度不高于70%的潔凈空氣循環環境中工作,冷卻水入口溫度不應高于25℃。
羅茨水環真空機組不僅具有良好的機械性能和加工性能,還滿足其他性能的要求,如易脫氣、飽和蒸汽壓低、有一定的化學穩定性、有一定的純度和潔凈度、適宜的輻射能力等。所以羅茨真空機組比較特殊,對清洗處理的要求嚴格,所以零件的污染要很大程度上去除或者減少。